Leitanwendung nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten: Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
,
Jun Tan
Muralikrishna Sathyamurthy
Alexander Rolapp
Jonathan Gamez
Moataz Elkharashi
Benjamin Saft
Sylvo Jäger
Ralf Sommer
in IEEE Journal of Radio Frequency Identification, vol. 4, no. 1, pp. 3-13, March 2020, DOI: https://doi.org/10.1109/JRFID.2020.2967862
Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.
K. Gastinger,
M. Kujawinska
U. Zeitner
C. Gorecki
Dr. Ch. Schäffel
S. Beer
R. Moosburger
M. Pizzi
Photonics Europe 2010, 12.04-16.04.2010, Brüssel, Belgien
