Promotionen: Am IMMS gibt es verschiedene Wege zur Promotion. Aktuell gibt es eine umfassende Betreuung und Finanzierung mit vollem Fokus auf das Promotionsvorhaben in einem Graduiertenkolleg und in einer internen Forschungsgruppe.
Leitanwendung nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten: Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
Forschungsfeld Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision: Um die Fertigung makroskopischer High-Tech-Produkte mit mikroskopischer Präzision zu ermöglichen, forschen wir an wissenschaftlichen Grundlagen und technischen Lösungen für Nanopositioniersysteme für große Bewegungsbereiche.
