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Referenz
1811.
Strategische Weiterentwicklung des Instituts für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH
Referenz
1812.
Stress Controlled Piezoeletric ALN-MEMS-Resonators with Molybdenum Electrodes for GHz Applications
Referenz
1813.
Stress Identification of Thin Membrane Structures by Dynamic Measuarments. Aix-en-Provence