1541. SMARTIEHS - The interferometric test station for parallel inspection of MEMS and MOEMS   K. Gastinger, M. Kujawinska U. Zeitner C. Gorecki Dr. Ch. Schäffel 11th Scientific Conference Optoelectronic and Electronic Sensors COE, 20.06-23.06.2010, Polen  

  1542. Planar Magnetic Drives and Bearings for Multi-Axis Nanopositioning Machines with Large Travel Ranges.   T. Sattel, R. Volkert S. Hesse Dr. Ch. Schäffel Actuator 2010, 14.06.-16.06.2010, Bremen  

  1543. Erfolgskritisches Wissen bewerten und entwickeln - Praxisbericht   Dr. W. Sinn, TU Ilmenau (Ringvorlesung), 08.06.2010, Ilmenau  

  1544. Realisierung eines PDICs für 12fach Blu-ray-Disc-RW Laufwerke mit Hilfe neuartiger effizienter Entwurfsmethodiken   S. Lange, Dr. B. Dimov Dr. T. Reich Dr. E. Hennig Kleinheubacher Tagung 2010, 04.-06.10.2010, Miltenberg  

  1545. First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider   S. Hesse, H.-J. Büchner Prof. Dr. G. Jäger Dr. Ch. Schäffel H. U. Mohr B. Leistritz 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande  

  1546. Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS   Dr. Ch. Schäffel, S. Michael B. Leistritz M. Katzschmann N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska M. Jozwik S. Beer 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.2010-04.06.2010, Delft, Niederlanden  

  1547. First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider   S. Hesse, H.-J. Büchner Prof. Dr. G. Jäger Dr. Ch. Schäffel H.-U. Mohr B. Leistritz 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande  

  1548. Ein Fotodetektor-IC für Blu-ray-Disc-Laufwerke mit 12-facher Schreib- und Lesegeschwindigkeit   Dr. E. Hennig, 5. Silicon Saxony Day, Mikroelektronik-Forum, 19.05.2010, Dresden  

  1549. Konvergenz von Navigation und Sensorik - Quelle neuer Wertschöpfung   Dr. W. Sinn, 5. Silicon Saxony Day, Workshop, 19.05.2010, Dresden  

  1550. BASe-Kit - Ein mobiles Messsystem für die Gebäudeautomation, BASe-Kit - A mobile measurement system for building automation   S. Engelhardt, E. Chervakova W. Kattanek T. Rossbach Dr. A. Schreiber M. Götze SENSOR+TEST 2010, 18.-20.05.2010, 17. Internationale Fachmesse für Sensorik, Mess- und Prüftechnik