Aktuelle Publikation
Von hoher Dynamik und ultra-hoher Präzision: Positioniersystem-Entwicklung am IMMS
Ludwig Herzog.
Jahrestagung der Forschungsgemeinschaft Ultrapräzisionstechnik, Mai 28-29, 2026, Aachen
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.
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