Aktuelle Publikation
Tri-Gate Al0.2Ga0.8N/AlN/GaN HEMTs on SiC/Si-substrates
Wael Jatal1.
Uwe Baumann2.
Heiko O. Jacobs1.
Frank Schwierz3.
Jörg Pezoldt1.
Materials Science Forum, ISSN: 1662-9752, Vol. 858, pp 1174-1177, DOI: www.scientific.net/MSF.858.1174, ©2016 Trans Tech Publications, Switzerland
1FG Nanotechnologie, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano® and Institut für Mikro- und Nanoelektronik, TU Ilmenau, Postfach 100565, 98684 Ilmenau, Germany.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.
3FG Festkörperelektronik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano® and Institut für Mikro- und Nanoelektronik, TU Ilmenau, Postfach 100565, 98684 Ilmenau, Germany.