Aktuelle Publikation
Tri-Gate Al0.2Ga0.8N/AlN/GaN HEMTs on SiC/Si-substrates
Wael Jatal1, Uwe Baumann2, Heiko O. Jacobs1, Frank Schwierz3, Jörg Pezoldt1
in Materials Science Forum, vol. 858, May 2016, pp. 1174-1177, 2016, DOI: doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.858.1174
1Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Nanotechnologie, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano® und Institut für Mikro- und Nanoelektronik and Institut für Mikro- und Nanoelektronik, Fachgebiet Festkörperelektronik, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany