Aktuelle Publikation
Towards alternative 3D nanofabrication in macroscopic working volumes
Michael Kühnel1, Thomas Fröhlich1, Roland Füßl1, Martin Hoffmann2, Eberhard Manske1, Ivo W Rangelow3, Johann Reger4, Christoph Schäffel5, Stefan Sinzinger6, Jens-Peter Zöllner4
in Meas. Sci. Technol., vol. 29, no. 11, pp. 114002, 2018, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/aadb57
1Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Universitätsstraße 150, 44801 Bochum, Postfach ID 7, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanoelectronics, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany, 4Technische Universität Ilmenau, Institute for Automation and Systems Engineering, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 5IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 6Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Optical Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany