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Thick Copper Re-Distribution Layer for Integrated High Voltage Transistors
Ralf Lerner1, Klaus Heinrich1, Marco Erstling1, Peter Kornetzky2
14th International Seminar on Power Semiconductors (ISPS), , Prague, Czech Republic
1X-FAB Semiconductor Foundries AG, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
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