Aktuelle Publikation
Teilprojekt A5 - Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche
Steffen Hesse1.
Forschungsergebnisse 2002-2013, Abschlusspräsentation SFB 622 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Ilmenau, 29.05.2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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