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Aktuelle Publikation

Systematischer MEMS-ASIC-Designflow am Beispiel eines Beschleunigungssensors

Dominik Karolewski1, Jenny Klaus1, Raiko Pevgonen1, Ralf Sommer1
EdaWorkshop 15, Proceedings, , Dresden, Germany, Seite 9-14, ISBN 978-3-86386-914-4
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany