Aktuelle Publikation
Stressidentifikation dünner Membranstrukturen mittels dynamischer Messungen
S. Michael1.
S. Voigt2.
Dr. R. Knechtel3.
10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 20.10.-21.10.2010, Chemnitz
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TU Chemnitz, Professur Mikrosystem- und Gerätetechnik, Chemnitz.
3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.
Fachartikel