Aktuelle Publikation
Scan performance of nanopositioning systems with large travel range
S. Hesse1.
C. Schaeffel1.
S. Zschaeck2.
C. Ament2.
A. Mueller3.
E. Manske3.
58th IWK Ilmenau Scientific Colloquium, 8.09.2014 - 12.09.2014, Ilmenau, URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014iwk-069:6
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Institute of Automation ans Systems Engineering, Technische Universität Ilmenau.
3Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau.