Aktuelle Publikation
Scan performance of nanopositioning systems with large travel range
Steffen Hesse1, Christoph Schäffel1, Stephan Zschäck2, Christoph Ament2, Andreas Müller3, Eberhard Manske3
58th IWK Ilmenau Scientific Colloquium, , urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014iwk-069:6, Ilmenau, https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00024983
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute for Automation and Systems Engineering, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany