Aktuelle Publikation
Präzisionsantriebe für die Halbleiterfertigung
E. Beckert1.
E. Saffert2.
U. Kirschstein3.
Antriebstechnik, Oktober 2000
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TU Ilmenau.
3Leica GmbH.
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