Aktuelle Publikation
Planar Multi-Coordinate Drives
E. Saffert2.
Ch. Schäffel1.
E. Kallenbach2.
PCIM, Nürnberg, Mai 1998
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TU Ilmenau.
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