Aktuelle Publikation
Novel Precision Positioning System with Integrated Planar Guides
M. Stubenrauch1.
A. Albrecht1.
W. Hild2.
O. Mollenhauer3.
B. Guddei3.
S. Spiller3.
C. Schäffel4.
M. Katzschmann4.
F. Spiller4.
53rd International Scientific Colloquium (IWK 2008), Proceedings S. 251-252, 08.-12. September 2008, Ilmenau, Germany
1Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany.
2Carl Zeiss SMT AG, Jena, Germany.
3TETRA GmbH, Ilmenau, Germany.
4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
Fachartikel