Aktuelle Publikation
Neue Teststrukturen zur Messung von Matching und Alterung an MOS-Transistoren
M. Meister1.
D. Nürnbergk1.
Zuverlässigkeit und Entwurf (ZuE 2009), 21. - 23.09.2009, Stuttgart
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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