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Aktuelle Publikation

Microtribology-detection of forces in the micronewton range

M. Scherge. S.I. Ahmed2. O. Mollenhauer3. F. Spiller1.

10. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Meßsysteme 2000, Ludwigsburg, März 2000

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau. 3TETRA GmbH.
Vortrag