Aktuelle Publikation
Micromechanical Thin - Film Characterization
M. Scherge.
O. Mollenhauer1.
F. Spiller2.
J.A. Schaefer.
Proceedings of the Spring Meeting, Materials Research Society, San Francisco, April 1999
1TETRA GmbH.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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