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Aktuelle Publikation

Micromechanical Thin - Film Characterization

M. Scherge. O. Mollenhauer1. F. Spiller2. J.A. Schaefer.

Proceedings of the Spring Meeting, Materials Research Society, San Francisco, April 1999

1TETRA GmbH. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
Fachartikel