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Magnetic Levitating System with 6 DOF
		
		   Christoph Schäffel1.                     
		  
		
			Michael Katzschmann1. 
                  
		
			Hans-Ulrich Mohr1. 
                  
		
			Rainer Glöss2.    
                  
		
			Christian Rudolf2.   
                  
		
			Christopher Mock2. 
                 
		
			Carolin Walenda2.     
                  
		
		
		
		
Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik 2013, 9. GMM/ETG Fachtagung, Nürnberg, S. 128-131, ISBN 978-3-8007-3537-2
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
			
			
				2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Karlsruhe, Germany.
			  
			
			
			
			
			
			
			
			
		
Fachartikel