Aktuelle Publikation
Investigations to reduce positioning uncertainty of direct drive systems with aerostatic guiding
St. Hesse1.
T. Maaß1.
H.-U. Mohr1.
Ch. Schäffel1.
6th Euspen International Conference, 28.05-01.06.2006, Baden bei Wien
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
Vortrag
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