Hybrid Characterization and Reconstruction of Transient Thermal Fields in 6-DOF Nanopositioning Systems

Parastoo Salimitari¹. Ina Naujokat¹. Ahmed Rahat¹. Amin Suaad¹. Ludwig Herzog¹. Tino Hutschenreuther¹.

2026 PI Symposium on Mechatronics System Design, June 16-17, 2026, Karlsruhe, Germany

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Intelligente vernetzte Mess- und Testsysteme Vortrag und Posterpräsentation

Zugehörige Inhalte

Symbolbild mit Teilen eines Präzisionsantriebs, einen Modell einer Magnetspule, deren Daten in eine als Chip mit Hirnstrukturen verbildlichte KI gehen bzw. aus ihr erzeugt werden.

Projekt

VirtuSen

Mithilfe virtueller Sensorik und KI sollen Störeinflüsse auf komplexe mechatronische Systeme wie Hochpräzisionsantriebe ortsaufgelöst erfasst und kompensiert werden können

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