Aktuelle Publikation
High - Speed Präzisionsantriebe für die Mikrosystemtechnik
Ch. Schäffel1.
E. Saffert2.
MTT Technologoie-Symposium, Erfurt, Mai 1998
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TU Ilmenau.
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