Aktuelle Publikation
Geometric Parameter Identification for Bulk-Micromachined Accelerometer from Modal Frequencies Measurements
St. Michael1.
S. Hering2.
M. Katzschmann1.
EuroSimE - Thermal, Mechanical and Multiphysics Simulation and Experiments in Micro-Electronics and Micro-Systems, 24-26.04.2006, Como (Mailand), Italien
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2X-FAB AG.
Vortrag