Aktuelle Publikation
Enhancement- and depletion-mode AlGaN/GaN HEMTs on 3C-SiC(111)/Si(111) pseudosubstrates
Wael Jatal1, Uwe Baumann2, Heiko O. Jacobs1, Frank Schwierz3, Jörg Pezoldt1
in Phys. Status Solidi A, vol. 214, no. 4, pp. 1600415, 2017, DOI: dx.doi.org/10.1002/pssa.201600415
1Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Nanotechnologie, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano® und Institut für Mikro- und Nanoelektronik and Institut für Mikro- und Nanoelektronik, Fachgebiet Festkörperelektronik, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany