Aktuelle Publikation
Enhancement- and depletion-mode AlGaN/GaN HEMTs on 3C-SiC(111)/Si(111) pseudosubstrates
Wael Jatal1.
Uwe Baumann2.
Heiko O. Jacobs1.
Frank Schwierz3.
Jörg Pezoldt1.
Phys. Status Solidi A 214, No. 4, 1600415 (2017). DOI: dx.doi.org/10.1002/pssa.201600415
1FG Nanotechnologie, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano® und Institut für Mikro- und Nanoelektronik, TU Ilmenau, Postfach 100565, 98684 Ilmenau, Germany.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
3FG Festkörperelektronik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano® und Institut für Mikro- und Nanoelektronik, TU Ilmenau, Postfach 100565, 98684 Ilmenau, Germany.