Aktuelle Publikation
Ein komplexes mechatronisches Antriebssystem für die Halbleiterfertigung
Ch. Schäffel1.
E. Beckert1.
A. Hoffmann1.
E. Saffert2.
Ehrenkoloqium zum 65. Geburtstag Prof. Dr. Kallenbach (TU Ilmenau), Ilmenau, September 2000
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TU Ilmenau.
Vortrag