Aktuelle Publikation
Effizientes Design und Layout von 3D Beschleunigungssensoren mittels automatisierter Synthese
Steffen Michael1.
Maria Kellner1.
Ralf Sommer1.
Analog 2018, 16. GMM/ITG-Fachtagung, 12.-14. September 2018, München-Neubiberg
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
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