Effizientes Design und Layout von 3D Beschleunigungssensoren mittels automatisierter Synthese

Steffen Michael¹, Maria Kellner¹, Ralf Sommer¹

Analog 2018, 16. GMM/ITG-Fachtagung, 12.09.2018 – 14.09.2018, München-Neubiberg, ISBN 978-3-8007-4754-2, Proceedings: https://www.vde-verlag.de/proceedings-en/454754005.html

¹IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany

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