Aktuelle Publikation
Design and performance evaluation of an interferometric controlled planar nanopositioning system
Steffen Hesse1.
Christoph Schäffel1.
Hans-Ulrich Mohr1.
Michael Katzschmann1.
Hans-Joachim Büchner2.
in Measurement Science and Technology, 23 (2012) 074011 (10pp), stacks.iop.org/0957-0233/23/074011
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.
Fachartikel