Challenges of Building AI-Based Virtual Temperature Sensors for Nanopositioning Systems (NPS)

Amin Suaad¹. Silvia Krug^{1, 2}. Tino Hutschenreuther¹.

IEEE AI4IM 2026, IEEE Symposium on Artificial Intelligence for Instrumentation and Measurement, Mai 21-23, 2026, Amalfi, Italy

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. ²Department of Computer and Electrical Engineering, Mid Sweden University, Holmgatan 10, 851 70 Sundsvall, Sweden.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Intelligente vernetzte Mess- und Testsysteme Begutachtete Veröffentlichung

Zugehörige Inhalte

Symbolbild mit Teilen eines Präzisionsantriebs, einen Modell einer Magnetspule, deren Daten in eine als Chip mit Hirnstrukturen verbildlichte KI gehen bzw. aus ihr erzeugt werden.

Projekt

VirtuSen

Mithilfe virtueller Sensorik und KI sollen Störeinflüsse auf komplexe mechatronische Systeme wie Hochpräzisionsantriebe ortsaufgelöst erfasst und kompensiert werden können

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