Aktuelle Publikation
Anordnung von Referenzmarken auf Messrasterplatten und Referenzmarkensensoren auf dem dazugehörigen optoelektronisch arbeitenden Messkopf
V. Bornmann1.
H.-U. Mohr1.
Ch. Schäffel1.
Deutsche Patentmeldung DE 102 30 614.1-52, Juli 2002
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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