Aktuelle Publikation
Abschlußbericht zum Verbundprojekt 'Fabrikation von Mikro - Elektro - Mechanischen Systemen (MEMS - Fab)'
O. Mollenhauer3.
F. Spiller1.
P. Schilling2.
G. Frenzel2.
G. Höhne2.
D. Hülsenberg2.
J. Schäfer2.
E. Kallenbach2.
u.a..
Thüringer Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst, Förderkennzeichen B 609-98037,Ilmenau, September 2002
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TU Ilmenau.
3TETRA GmbH.
Fachartikel