Aktuelle Publikation
A new XY linear stage for Nano technology - The stage can draw 3 diameter true circle
F. Spiller1.
O. Mollenhauer2.
Tokyo/Japan, Advanced Photonics Technology Exhibition, November 2003
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TETRA GmbH.
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