Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1163 Ergebnisse
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Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS
Dr. Ch. Schäffel1. S. Michael1. B. Leistritz1. M. Katzschmann1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. M. Jozwik3. S. Beer4.10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.2010-04.06.2010, Delft, Niederlanden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, Warsaw, Poland. 4CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA, Zurich, Schwitzerland.Fachartikel -
First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider
S. Hesse1. H. -J. Büchner2. Prof. Dr. G. Jäger2. Dr. Ch. Schäffel1. H. -U. Mohr1. B. Leistritz1.10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau, Ilmenau, Germany.Posterpräsentation -
Ein Fotodetektor-IC für Blu-ray-Disc-Laufwerke mit 12-facher Schreib- und Lesegeschwindigkeit
Dr. E. Hennig1.5. Silicon Saxony Day, Mikroelektronik-Forum, 19.05.2010, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Konvergenz von Navigation und Sensorik - Quelle neuer Wertschöpfung
Dr. W. Sinn1.5. Silicon Saxony Day, Workshop, 19.05.2010, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
BASe-Kit - Ein mobiles Messsystem für die Gebäudeautomation, BASe-Kit - A mobile measurement system for building automation
S. Engelhardt1. E. Chervakova1. W. Kattanek1. T. Rossbach1. Dr. A. Schreiber1. M. Götze1.SENSOR+TEST 2010, 18.-20.05.2010, 17. Internationale Fachmesse für Sensorik, Mess- und Prüftechnik1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
EDADB - eine Infrastruktur zur Dokumentation und Wiederverwendung von Schaltungstopologien
Dr. V. Boos1.18.05.-19.05.2010, Dresden, Proceedings DASS 20101IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
EDADB - eine Infrastruktur zur Dokumentation und Wiederverwendung von Schaltungstopologien
Dr. V. Boos1.DASS 2010, 18.05.-19.05.2010, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
SystemC (-AMS) zur frühzeitigen Validierung und Optimierung des Systemkonzeptes komplexer Smart-Sensor-Systeme
G. Nitsche1. K. Agla1.5. Silicon Saxony Day, 18.05-19.05.2010, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Testmöglichkeiten auf Waferebene am IMMS
M. Meister1.49. Mikroelektronik-Seminar, 05.05.2010, Erfurt1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
X-FAB PLL Demonstrator - Increase in design efficiency by the use of high abstraction level modelling and mixed-level simulation
A. Jäger1. K. Gille2.4. edaWorkshop, 04.05.-05.05.2010, Hannover1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2X-FAB Semiconductor Foundries AG.Posterpräsentation