Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1163 Ergebnisse
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Tip- and laser-based nanofabrication up to 100 mm with sub-nanometre precision
Ingo Ortlepp1. Michael Kühnel1. Martin Hofmann1. Laura Weidenfeller1. Johannes Kirchner1. Shraddha Supreeti1. Rostyslav Mastylo1. Mathias Holz1. Thomas Michels1. Roland Füßl1. Ivo W. Rangelow1. Thomas Fröhlich1. Denis Dontsov2. Christoph Schäffel3. Eberhard Manske1.Proc. SPIE 11324, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, 113240A (23 March 2020), DOI: doi.org/10.1117/12.25510441Technische Universität Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Tip-based nanofabrication below 40 nm combined with a nanopositioning machine with a movement range of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Michael Reibe1. Anja Krötschl2. Christoph Reuter2. Ingo Ortlepp1,2. Denis Dontsov3. Steffen Hesse4. Ivo W. Rangelow1,5. Steffen Strehle2. Eberhard Manske1.Micro and Nano Engineering, Volume 19, 2023, 100201, ISSN 2590-0072, DOI: doi.org/10.1016/j.mne.2023.1002011Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 2Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Technische Universität Ilmenau, Max-Planck-Ring 12, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 5nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. -
Tip‑ and Laser‑based 3D Nanofabrication in Extended Macroscopic Working Areas
Ingo Ortlepp1. Thomas Fröhlich1. Roland Füßl et al. 1.Nanomanufacturing and Metrology 4, 132–148 (2021). DOI: doi.org/10.1007/s41871-021-00110-w1Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ehrenbergstrasse 29, 98693, Ilmenau, Germany. -
Tool-Unterstützung für 'System in Package'
M. Isikhan1.34. Mikroelektronik-Seminar, 03.09.2009, Erfurt1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Tools für die Programmierung von DSP
Ch. Lang1.Erlangen, FhG IIS, Seminar DSP-ADU, März 20021IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Tools zur Analyse, Dokumentation und Wiederverwendung von Schaltungstopologien
V. Boos1.31. Mikroelektronik-Seminar, 15.07.2009, Erfurt1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Tools zur Dokumentation und Wiederverwendung von Schaltungstopologien
V. Boos1.edaWorkshop09, 26.-28.05.2009, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
Top-Down Entwurf eines zyklischen A/D-Wandlers unter Einbeziehung der Verhaltensmodellierung in SpectreHDL
R. Izak1. R. Kindt1. F. Rößler1. J. Strömer2.10. EIS-Workshop 'Entwurf Integrierter Systeme', Dresden, April 20011IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Melexis.Vortrag -
Topologie und Routing in Sensornetzwerken und Auswirkungen auf die Energieeffizienz
T. Rossbach1.7th Conference of Advanced Science 'Sensorsysteme 2008', 16. - 18. Oktober 2008, Lichtenwalde, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. -
Towards alternative 3D nanofabrication in macroscopic working volumes
M. Kühnel1. T. Fröhlich1. R. Füßl1. M. Hoffmann6. E. Manske1. I. W. Rangelow2. J. Reger3. C. Schäffel5. S. Sinzinger4. J-P. Zöllner3.Meas. Sci. Technol. 29 (2018) 114002, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/aadb571Institute for Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 2Institute for Microelectronics and Nanoelectronics, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 3Institute for Automation and Systems Engineering, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 4Optical Engineering Department, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 5IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 6Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Universitätsstraße 150, ID 05 / 441, 44801 Bochum, Germany.