Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1163 Ergebnisse
-
Präzisionsantriebe für die Halbleiterfertigung
E. Beckert1. E. Saffert2. U. Kirschstein3.Antriebstechnik, Oktober 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau. 3Leica GmbH.Fachartikel -
Aufbau und Einsatz von DSPs / Analysemethoden für DSP Algorithmen
Ch. Lang1.DFAM AK-Sitzung, Oktober 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Design environment and there application to high temperature electronics
D. Nuernbergk1.First Sensor Technology-Workshop 'SOI-Technology', Berlin, Oktober 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
MIMO vector channel sounder measurement for smart antenna system evaluation
U. Trautwein1. D. Hampicke. G. Sommerkorn. R. S. Thomä. A. Richter2.Micro.tec 2000 / Expo 2000, 25.-27.9.2000, Hannover, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Vortrag -
Designmethodik für Low Power Kommunikationsmodule in fortgeschrittenen IC-Technologien
U. Baumann1. St. Spira2.45. IWK, TU Ilmenau, September 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Vortrag -
Ein komplexes mechatronisches Antriebssystem für die Halbleiterfertigung
Ch. Schäffel1. E. Beckert1. A. Hoffmann1. E. Saffert2.Ehrenkoloqium zum 65. Geburtstag Prof. Dr. Kallenbach (TU Ilmenau), Ilmenau, September 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Vortrag -
Development of a vertical wafer stage for high vakuum applications
E. Beckert1. A. Hoffmann1. E. Saffert2.Micro- and Nano-Engineering 2000, September 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Vortrag -
Erfahrungen bei der Nutzung einer analogen Hardware-Beschreibungsspache (AHDL) im Designflow unter CADENCE für einen zyklischen AD-Wandler
R. Izak1. R. Kindt1. J. Strömer1.ITG-Fachdisskusion 'Messtechnische Charakterisierung der A/D- und D/A-Wandler', Günzburg, September 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Superresolution measurement and simulation of mobile vector radio channels
U. Trautwein1. D. Hampicke. G. Sommerkorn. R. S. Thomä. A. Richter2.ISAP 2000, August 2000, Fukuoka, Japan1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Vortrag -
Detection of micronewton forces in tribology
M. Scherge. S. I. Ahmed2. O. Mollenhauer3. F. Spiller1.tm - Technisches Messen Heft 7-8/20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau. 3TETRA GmbH.Fachartikel