Vorrichtung zur Positionsbestimmung eines Läuferelementes in einem Planarantrieb und dergleichen Bewegungssystem
Christoph Schäffel.
Hans-Ulrich Mohr.
Dominik Karolewski.
Steffen Hesse.
Michael Katzschmann.
DE 10 2010 014 663 B4
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzisionerteiltes PatentPatentinhaberhttps://register.dpma.de/DPMAregister
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