Positionierungssystem zur dreidimensionalen Positionierung eines Objektes sowie Verfahren zu seinem Betrieb
Steffen Hesse.
Christoph Schäffel.
Michael Katzschmann.
Bianca Leistritz.
Stephan Gorges.
Jorge Amado Gonzalez Whittinham.
DE 10 2021 103 220 A1
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzisionoffengelegte PatentanmeldungPatentinhaberhttps://register.dpma.de/DPMAregister