Vibrometrische Untersuchungen für einen am IMMS entwickelten MEMS-Energy-Harvester. Foto: IMMS.

Mikroelektromechanische Systeme (MEMS)

Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) vereinen auf einer Fläche von nur wenigen Quadratmillimetern mikromechanische Sensoren und Aktoren sowie Steuerungselektronik in einem einzigen Bauelement. Im Fokus unserer Forschungsaktivitäten stehen MEMS-basierte Elektronik-Systeme für innovative Applikationen in der industriellen Mess-, Steuer- und Regelungstechnik sowie in speziellen, jungen Wachstumsfeldern wie den Lebenswissenschaften und der Biomedizintechnik. Neuartige Ansätze, wie z.B. die an unserem Institut entwickelten Lösungen für mikromechatronische Energy-Harvesting-Module, ermöglichen vielfältige Produktinnovationen mit attraktivem Marktpotential besonders für kleine und mittelständische Unternehmen.

Um diese Felder gemeinsam mit unseren Kunden erfolgreich erschließen zu können, bauen wir unsere Fähigkeiten zur Entwicklung von MEMS-basierten Systemen seit mehreren Jahren stetig aus. Hierzu arbeiten wir eng mit MEMS-Technologieentwicklungs- und Fertigungspartnern zusammen und konzentrieren uns auf den systematischen Entwurf integrierter mechatronischer Systemlösungen. Einen weiteren Schwerpunkt unserer Arbeiten bilden die Charakterisierung und der Test von MEMS-Komponenten mittels spezieller Labormesstechnik und zerstörungsfreier Analysemethoden.