ANSYS-Simulation des Übertragungsverhaltens einer magnetostriktiv-piezoelektrischen MEMS-Balkenstruktur. Foto: IMMS.

Forschungsrojekte im Bereich Mikroelektromechanische Systeme

Das IMMS forscht mit an MEMS-Sensoren, die künftig schwächste Magnetfelder detektieren sollen, wie z.B. in der Medizintechnik. mehr »

Neue Forschungsinfrastruktur für neue MEMS-Generation: 3D-Vibrometersystem und Breitband-Verstärkersystem. mehr »

Systematischer Entwurf und kosteneffiziente Fertigung sollen robuste Multisensorik-Systeme in begrenzten Stückzahlen ermöglichen. mehr »

Das IMMS arbeitet an neuen Messmethoden, die Qualitätsprüfungen für verkapselte MEMS während der Fertigung ermöglichen sollen. mehr »

Das IMMS untersucht, modelliert und validiert MEMS-Eigenschaften, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln. mehr »

Im Labor nimmt das IMMS hochkomplexe Messungen für komplette MEMS-Wafer in einem neuen Automatisierungsgrad vor. mehr »

Ein am IMMS entwickeltes Entwurfswerkzeug generiert Mechanik-Designs automatisch und ermöglicht MEMS-Gesamtsystemsimulationen. mehr »

Für das Beispiel Bioanalytik sind Lösungen für energieeffiziente multiparametrische RFID-Mikrosensorik und deren energieautarken Betrieb... mehr »

Das IMMS lieferte Beiträge, um Schwingquarze in Mikroprozessoren künftig durch MEMS-Taktgeneratoren ersetzen zu können. mehr »