Vorarbeiten für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision. Foto: IMMS.
Vorarbeiten für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision. Foto: IMMS.

Forschungsprojekte im Bereich Hochpräzisionsantriebe

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision. mehr »

AFiA

Das IMMS hat einen Vertikalantrieb entwickelt, der Objekte in einem Hebe- bzw. Senkbereich von 10 mm aktiv geregelt mit Nanometer-Präzision... mehr »

TESCA

Der Antrieb für eine Terahertz-Kamera ermöglicht Sicherheits-Checks, bei denen Personen im Vorbeigehen auf versteckte Gegenstände untersucht... mehr »

SFB622

Das IMMS hat neuartige Antriebsstrukturen für die nanometerpräzise Bewegung von Objekten über große Fahrbereiche entwickelt. mehr »

Mag6D

Das im Projekt entwickelte neuartige planare Antriebssystem ist magnetisch geführt und bewegt Objekte auf den Nanometer genau. mehr »

SMARTIEHS

Mit dem neuentwickelten Mess-System können MEMS-Strukturen im Wafer-Verbund gleichzeitig geprüft und der Testaufwand deutlich reduziert werden. mehr »

PMS380

Dank des planaren Antriebssystems des IMMS werden weltweit in der Halbleiterfertigung 300mm-Wafer per Laser-Dicing vereinzelt. mehr »