Das IMMS entwickelt Aktoren, um Objekte in Ebenen bis 200 mm Durchmesser mit 25 mm Vertikalhub nanometergenau zu positionieren. Foto: IMMS.
Das IMMS entwickelt Aktoren, um Objekte in Ebenen bis 200 mm Durchmesser mit 25 mm Vertikalhub nanometergenau zu positionieren. Foto: IMMS.

Forschungsprojekte für Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision

K4PNP+Z

Das IMMS entwickelt Aktoren, um Objekte in Ebenen bis 200 mm Durchmesser mit 25 mm Vertikalhub nanometergenau zu positionieren. mehr »

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision. mehr »

AFiA

Das IMMS hat einen Vertikalantrieb entwickelt, der Objekte in einem Hebe- bzw. Senkbereich von 10 mm aktiv geregelt mit Nanometer-Präzision… mehr »

TESCA

Der Antrieb für eine Terahertz-Kamera ermöglicht Sicherheits-Checks, bei denen Personen im Vorbeigehen auf versteckte Gegenstände untersucht… mehr »

SFB622

Das IMMS hat neuartige Antriebsstrukturen für die nanometerpräzise Bewegung von Objekten über große Fahrbereiche entwickelt. mehr »

Mag6D

Das im Projekt entwickelte neuartige planare Antriebssystem ist magnetisch geführt und bewegt Objekte auf den Nanometer genau. mehr »

PMS380

Dank des planaren Antriebssystems des IMMS werden weltweit in der Halbleiterfertigung 300mm-Wafer per Laser-Dicing vereinzelt. mehr »