Messplatz zur Erfassung von 3D-Schwingungen an MEMS. Foto: IMMS.
Messplatz zur Erfassung von 3D-Schwingungen an MEMS. Foto: IMMS.

MEMS-Vibro3D

Einrichtung eines MEMS- 3D-Vibrometer-Messplatzes

Neue Forschungsinfrastruktur für neue MEMS-Generation: 3D-Vibrometersystem und Breitband-Verstärkersystem.

Dank der bewilligten EFRE-Förderung wird das IMMS seine Forschungsinfrastruktur zur vibrometrischen Untersuchung von MEMS erweitern.

Ein neues 3D-Vibrometersystem soll neben den out-of-plane-Schwingungen auch solche in der Ebene messen und dadurch die Charakterisierung neuer Sensorklassen wie multiaxialer Inertialsensoren erlauben.

Das neue Breitband-Verstärkersystem soll aufgrund seines Frequenzbandes von 9 bis 250 MHz bei einer Leistung von 200 W die elektrostatische Anregung z.B. von Drucksensoren der aktuellen Generation ermöglichen, die kleinere und dickere Membranen aufweisen und daher verglichen mit Drucksensoren früherer Generationen wesentlich steifer sind.

  • Förderung

    Das vom Freistaat Thüringen geförderte Vorhaben wurde durch Mittel der Europäischen Union im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) als Maßnahme zur forschungsbezogenen Geräteinfrastruktur unter dem Förderkennzeichen 2015 FGI 0010 kofinanziert.

Laufzeit

2016

Projekt-Nr.

2015 FGI 0010