Im MEMS-Testlabor nimmt das IMMS hochkomplexe Messungen für komplette Wafer in einem neuen Automatisierungsgrad vor. Foto: IMMS.
Im MEMS-Testlabor nimmt das IMMS hochkomplexe Messungen für komplette Wafer in einem neuen Automatisierungsgrad vor. Foto: IMMS.

MEMS-T-Lab

MEMS-T-Lab - Aufbau eines Testlabors für MEMS – basierte Mikrosysteme in modernen Technologien

Im Labor nimmt das IMMS hochkomplexe Messungen für komplette MEMS-Wafer in einem neuen Automatisierungsgrad vor.

Mit MEMS-T-Lab wurden die Voraussetzungen geschaffen, MEMS parametrisch zu modellieren und bezüglich ihrer systemrelevanten mechanischen Parameter messtechnisch auf Basis von Deformations- und Frequenzmessungen zu charakterisieren.

Die neue Technik erweitert die Infrastruktur des Instituts in den Bereichen Modellierungstools, Messtechnik und Laborausrüstung und eröffnet eine bislang noch nicht erreichte Komplexität von Messungen. Diese sind dann in einem neuen Automatisierungsgrad und im Gegensatz zu vorher für komplette Wafer möglich. Das neue MEMS-Testlabor vereint im Einzelnen die folgenden Systeme:

  • Messsystem zur Erfassung der Topographie von MEMS-Bauelementen auf Waferlevel mit einem Interface zu einem halbautomatischen Waferprober;
  • Softwaresystem zur Modellierung der mechanischen Eigenschaften von MEMS-Systemen als Basis für eine Identifikation funktionsrelevanter Geometrie- und Materialparameter der MEMS;
  • halbautomatischer Waferprober für die schnelle und exakte Kontaktierung integrierter Schaltungen bereits im Waferverbund zur Untersuchung der Eigenschaften in licht- und EMV-geschützter Umgebung im Temperaturbereich von -50 °C bis 200 °C;
  • modulare Testplattform für die elektrische Stimulierung und Messung der Parameter von integrierten Schaltungen, Modulen und Systemen und für die Erforschung flexibler und leistungsfähiger Testsystemarchitekturen mit effizienten Hardwarebaugruppen.

Waferprober und Testplattform bilden eine funktionelle Einheit bei Untersuchungen zur Technologie- und Designoptimierung, zur Bewertung von Qualität und Zuverlässigkeit von Mikrosystemen sowie zur Erforschung neuer und schneller Testmethoden.

  • Förderung

    Das Infrastrukturprojekt MEMS-T-Lab wurde vom Freistaat Thüringen unter dem Kennzeichen 12031-715 gefördert und durch Mittel der Europäischen Union im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) kofinanziert.

Laufzeit

2013 – 2014

Projekt-Nr.

12031-715