Arbeiten am IMMS für die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) für ein nanometergenaues planares Antriebssystem. Foto: IMMS.
Arbeiten am IMMS für die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) für ein nanometergenaues planares Antriebssystem. Foto: IMMS.

Projekte im Bereich Halbleiterfertigung

PTB

Das IMMS hat für die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) ein hochpräzises Positioniersystem für Maßstäbe der nächsten... mehr »

AFiA

Das IMMS hat einen Vertikalantrieb entwickelt, der Objekte in einem Hebe- bzw. Senkbereich von 10 mm aktiv geregelt mit Nanometer-Präzision... mehr »

MEMS-Vibro3D

Neue Forschungsinfrastruktur für neue MEMS-Generation: 3D-Vibrometersystem und Breitband-Verstärkersystem. mehr »

RoMulus

Systematischer Entwurf und kosteneffiziente Fertigung sollen robuste Multisensorik-Systeme in begrenzten Stückzahlen ermöglichen. mehr »

IRIS

Das IMMS arbeitet an neuen Messmethoden, die Qualitätsprüfungen für verkapselte MEMS während der Fertigung ermöglichen sollen. mehr »

ANCONA

Die erarbeiteten rechnergestützten Verifikationsmethoden beschleunigen die Entwicklung von Industrie-4.0-Anwendungen. mehr »

MEMS-T-Lab

Im Labor nimmt das IMMS hochkomplexe Messungen für komplette MEMS-Wafer in einem neuen Automatisierungsgrad vor. mehr »

MEMS2015

Ein am IMMS entwickeltes Entwurfswerkzeug generiert Mechanik-Designs automatisch und ermöglicht MEMS-Gesamtsystemsimulationen. mehr »

SFB622

Das IMMS hat neuartige Antriebsstrukturen für die nanometerpräzise Bewegung von Objekten über große Fahrbereiche entwickelt. mehr »

Mag6D

Das im Projekt entwickelte neuartige planare Antriebssystem ist magnetisch geführt und bewegt Objekte auf den Nanometer genau. mehr »