Arbeiten am integrierten 6D-Direktantrieb zur nanometergenauen räumlichen Positionierung von Objekten. Foto: IMMS.
Arbeiten am integrierten 6D-Direktantrieb zur nanometergenauen räumlichen Positionierung von Objekten. Foto: IMMS.

Forschungseinrichtungen und Ultra-Präzisionsmaschinenbau Projekte

INPOS

Neuartiger integrierter 6DOF-Direktantrieb bewegt großflächige Objekte mit geringer vertikaler Ausdehnung nanometergenau im Raum. mehr »

PTB

Das IMMS hat für die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) ein hochpräzises Positioniersystem für Maßstäbe der nächsten… mehr »

AFiA

Das IMMS hat einen Vertikalantrieb entwickelt, der Objekte in einem Hebe- bzw. Senkbereich von 10 mm aktiv geregelt mit Nanometer-Präzision… mehr »

MEMS-Vibro3D

Neue Forschungsinfrastruktur für neue MEMS-Generation: 3D-Vibrometersystem und Breitband-Verstärkersystem. mehr »

SFB622

Das IMMS hat neuartige Antriebsstrukturen für die nanometerpräzise Bewegung von Objekten über große Fahrbereiche entwickelt. mehr »

Mag6D

Das im Projekt entwickelte neuartige planare Antriebssystem ist magnetisch geführt und bewegt Objekte auf den Nanometer genau. mehr »

PMS380

Dank des planaren Antriebssystems des IMMS werden weltweit in der Halbleiterfertigung 300mm-Wafer per Laser-Dicing vereinzelt. mehr »