ANSYS-Simulation von MEMS-Strukturen für eine Modellbibliothek zum Entwurf neuartiger Multisensor-Anwendungen. Foto: IMMS.
ANSYS-Simulation von MEMS-Strukturen für eine Modellbibliothek zum Entwurf neuartiger Multisensor-Anwendungen. Foto: IMMS.

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