Neuartiger Antrieb für die partikelfreie Herstellung von Halbleiter-, Life-Science- und Biotech-Produkten im Vakuum. Foto: IMMS.
Neuartiger Antrieb für die partikelfreie Herstellung von Halbleiter-, Life-Science- und Biotech-Produkten im Vakuum. Foto: IMMS.

Magnetischer Hochpräzisionsantrieb PIMag® 6D

Mit magnetischem Schweben sollen künftig partikelfrei Halbleiter-, Life-Science- und Biotech-Produkte im Vakuum hergestellt werden. Dieses hochpräzise Positioniersystem bewegt eine Plattform in sechs Koordinaten – den drei Raumachsen und der jeweiligen Rotation um diese Achsen. Die Plattform schwebt dabei allein auf einem magnetischen Feld, das Antrieb und Führung für alle Achsen übernimmt, arbeitet vollkommen kontaktlos und hat keinerlei Zuleitungen. So kann das System nahezu ohne Partikelgeneration in hochreinen Umgebungen betrieben werden.

Die Entwicklung wird vom Industriepartner Physik Instrumente (PI) unter dem Namen PIMag® 6D vermarktet.

Technische Details des Technologiedemonstrators

  • 100 x 100 x 0,12 mm³ Fahrbereich
  • Bewegung in allen 6 Freiheitsgraden
  • bis 500g Nutzlast
  • Beschleunigung von bis zu 2 m/s2
  • Geschwindigkeit bis 100 mm/s
  • 10 nm Auflösung bei der Positionierung
  • < 6 nm Standardabweichung translatorische Achsen
  • < 250 nrad Standardabweichung Kippachsen
  • 6 planare Motorspulen
  • < 0,5 K Temperaturerhöhung der Aktorspulen
  • Positionserfassung: optisch inkrementales Messsystem und kapazitive Sensoren