Das IMMS hat u.a. energieautarke Sensorsystemlösungen für die Bioanalytik entwickelt. Foto: IMMS.
Das IMMS hat u.a. energieautarke Sensorsystemlösungen für die Bioanalytik entwickelt. Foto: IMMS.

Sensorsysteme

Wir entwickeln Lösungen für energieeffiziente integrierte Sensorsysteme. Diese übernehmen die analoge und digitale Sensorsignalaufbereitung und -verarbeitung, übertragen Sensorsignale analog und digital sowie drahtgebunden oder drahtlos und arbeiten bei Bedarf energieautark. Wir entwickeln Lösungen für physikalische, biologische und chemische Messgrößen, wie z.B.:

  • Temperatur und Licht,
  • Druck und Kraft,
  • Ionenkonzentrationen,
  • Impedanzen und Magnetfelder.
  • Charakterisierung, Test und Qualifizierung

    Wir übernehmen die anwendungsspezifische Charakterisierung und erarbeiten Testkonzepte und Qualifizierungen von Sensorsystemen in multiphysikalischen Umgebungen:

    • Testlösungen für den Bereich Halbleitermesstechnik auf Basis diverser Halbleiterprozesse (CMOS, BiCMOS, SOI, SiC, Graphene, ...)
    • Entwicklung und Aufbau von Probecards, Load- und Applikationsboards
    • Testprogrammentwicklung und Patternkonvertierung
    • Testdatenanalyse und Statistik
    • Konfiguration eigener modularer Testplattformen sowie hochpräziser Messgeräte u.a. für optoelektronische Sensoren und MEMS-Bauelemente
    • Anwendung von Zuverlässigkeitsstandards der Mikroelektronik und Mikromechanik
    • Device- und Packagequalifizierung auf der Basis der JEDEC-Normen
    • vollständiger Prozessfähigkeitsnachweis und Daten-Monitoring während des Serientests möglich
  • Applikationsfelder

    Das IMMS hat spezifische Kompetenzen aufgebaut, mit denen es Entwicklungen für Anwendungen im Hochtemperaturbereich und der Bioanalytik realisiert. Darüber hinaus erarbeitet das Institut Sensorsystemlösungen für die folgenden Applikationsfelder:

  • Technische Ausstattung

    • Waferprober zur Vermessung von ASICs und MEMS-Devices, Waferdurchmesser bis 300mm
    • Vibrometrische Messtechnik zur Charakterisierung mit Geometrie- und Materialparametern von MEMS-Devices: Polytec UHF120 und CLV-2534; Equipment zur Schwingungsanregung von MEMS Devices: HV-Verstärker für kap. Anregung, Manipulatoren für Probenpositionierung etc.
    • Waferprober für Vermessung von MEMS-Devices auf Waferebene
    • FEM-Tools zur parametrischen Modellierung der MEMS
    • Mehr Details finden Sie unter Institut/Ausstattung.
  • Entwicklung energieeautarker Sensorsysteme

    • Einsatz von Energy-Harvesting und Ultra-Low-Power-Konzepten für autarke Systeme
    • Entwicklung von energieeffizienten (eingebetteten) Hardware-Plattformen und Funk-Kommunikationsprotokollen
    • Energiemanagement für eingebettete Systeme
  • Entwicklung mikroelektronischer und mikromechanischer Sensorsysteme

    Wir unterstützen Sie von der Idee über den Entwurf von Bauelementen und Baugruppen bis hin zu Systemintegration, Prototypenbau und Überführung zur Serienreife:

    • Modellierung von multiphysikalischen Systemen und Integration der Modelle in eine gemeinsame Entwurfsumgebung
    • Entwurf und Realisierung anwendungsspezifischer integrierter Schaltungen (ASICs)
    • Konzeption des Oberflächensystems und Anpassung der Sensoroberfläche an die Umgebung
    • Systemdesign mit ASIC- und/oder PCB-Partitionierung inkl. eingebetteter Software
    • Entwurf und Implementierung von anwendungsbezogenen Schnittstellen für die Anbindung der Sensorsysteme:
      • drahtgebunden (SPI, I2C, PWM, SENT, CAN, ...)
      • drahtlos (RFID, 802.15.4, SAW, ...)
  • Entwurf und Realisierung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS)

  • Dokumente