Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz DATE2015 in Grenoble. Foto: Felix Salfelder.
Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz DATE2015 in Grenoble. Foto: Felix Salfelder.

ISPS 2018

29.08.2018 – 31.08.2018

14th International Seminar on Power Semiconductors

Vortrag: Thick Copper Re-Distribution Layer for Integrated High Voltage Transistors

Autoren: Ralf Lerner1, Klaus Heinrich1, Marco Erstling1, Peter Kornetzky2

1X-FAB Semiconductor Foundries GmbH, Erfurt, Germany

2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany