Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
39 Ergebnisse
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6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöss2. Christian Rudolf2. Carolin Walenda2.JSME Mechanical Engineering Journal, Vol. 3 (2016) No. 1 p. 15-00111, The Japan Society of Mechanical Engineers, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-001111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany. -
A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex Huaman1. Parastoo Salimitari1. Ludwig Herzog1.Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, 8. - 9. April 2025, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
A virtual metrology frame test setup using fiber interferometric sensors
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.22nd International Metrology Congress (CIM 2025), Lyon, France, March 11-14, 20251IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau. -
Design and Modeling Approach for a Lifting and Actuating Unit for the Application in Nano-Precision Machines
Stephan Gorges1. Steffen Hesse1.33rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2018, 4-9 November 2018, Las Vegas, Nevada, USA1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Development and validation of a simplified coil model for CFD simulation of a nano-positioning planar drive system
Ina Naujokat1. Ludwig Herzog1. Steffen Hesse1. Parastoo Salimitari1.Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, November 18-20, 2025, Cranfield University, United Kingdom1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges1. Bianca Leistritz1. Steffen Hesse1. I. Ortlepp2. G. Slotta3. Christoph Schäffel1.Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, 11-15 September 2017, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau. 3AeroLas GmbH. -
Disturbance rejection in periodic motion with enhanced constant velocity transitions using a tilt-mirror test setup
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Experimental characterization of thermal disturbances in a 6DOF nanopositioning system under varying operational conditions
Parastoo Salimitari1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1.Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, November 18-20, 2025, Cranfield University, United Kingdom1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Experimental investigation of air bearing noise by means of a 3D nanopositioning system
Parastoo Salimitari1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Herausforderungen und Lösungsansätze bei der Entwicklung kraftgekoppelter Hochpräzisions-Vertikalantriebe
Ludwig Herzog1.18. Jahrestagung „Feinwerktechnische Konstruktion“, 25. - 26. September 2025, Dresden, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.