Präsentation von Forschungsergebnissen auf der Konferenz ESSCIRC 2014 in Venedig. Foto: IMMS.
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Interferometrically controlled, scalable x-y planar positioning stage concept

Ilko Rahneberg1. Enrico Langlotz1. Denis Dontsov1. Steffen Hesse2. Jaqueline Stauffenberg3. Eberhard Manske3.

Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing, 17 – 18 November 2021, Virtual.

1SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3Technische Universität Ilmenau, Production and Precision Measurement Technology, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany.